主要用途MAIN PURPOSE

該設(shè)備適用于電力電子器件、機(jī)車車輛電子器件、傳感器、混合電路、奴向可控硅、石英晶體振蕩器、對(duì)地放電二級(jí)管、 半導(dǎo)體光電器件等，晶片正、反兩個(gè)方向同時(shí)曝光。（雙面對(duì)準(zhǔn)、雙面曝光）

主要技術(shù)參數(shù) MAIN TECHNICAL PARAMETERS

?適用于04", 03",①2”基片，基片厚度都可以。

?具有相對(duì)應(yīng)的版夾盤，口5” x5”、口4” x4" "、口25” x2.5”，隨機(jī)配置其中之一。

?對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié)：X、Y±4mm, e w ±5°

?對(duì)準(zhǔn)精度：±1.0卩E,多次翻轉(zhuǎn)保持精度w5um。

?多點(diǎn)光源曝光頭：

光源采用GOQ200Z型超高壓直流球形汞燈。

照明范圍：w ol20mm_o

光的不均勻性：O100mm范圍內(nèi)w ±16%。

成像面照明：使用UV-A型表測(cè)量,光照度在5mw/cm²左右（采用365測(cè)頭測(cè)量）。

?采用進(jìn)口時(shí)間繼電器（0.1-999.9秒內(nèi)任意設(shè)定）控制“真空快門” o

?具有二臺(tái)單筒顯微鏡（0.7-4.5倍連續(xù)變倍），二臺(tái)CCD攝像，單臺(tái)液晶監(jiān)視器（單屏奴畫面顯示）?？偡糯蟊稊?shù)為 35X ?225X。