產品概述 PRODUCT OVERVIEW

該設備是我公司在多名薄膜專家 的指導、研發、設計、制造的結合國 內外**鍍膜技術及新型機電加工技 術為一體的商用臥式多功能高等磁控 鍍膜LOW-E生產線，該生產線應用 了納米材料薄膜技術、真空磁控濺射 技術、**智能自動化控制總線等技 術，使用了**型的平面磁控陰極和 C-MAG®圓柱形濺射陰極。同一般 鍍膜生產線相比，融匯了更多高新技 術，有效克服了以往許多生產線的不 足，**提高了設備的穩定性和性價 比，使設備更合理更人性化。鍍膜腔 室采用單元式結構，可根據不同工藝 需求，可靈活調整陰極和泵組位；靈 活的陰極擋板結構，節約了更換靶材 及清理工序的周期；高質量國產化品 牌元器件的使用不僅降低了設備制造

成本和使用成本，也減少了設備故障恢復時間和成本，降低了客戶對該設備的使用成本和技術裳求。本說明書未考慮設備工 藝需裳的其他特殊規范或規格。實踐證明這是一套配置合理，使用穩定，產品質量高，價格合理的高性價比設備。